END EFFECTOR
- 모든공정
웨이퍼를 챔버 내부로 이송하는 캐리어 역할을 수행하는 부품입니다.
GAS DISTRIBUTION PLATE
- 메탈에칭공정
식각 공정중에서 전기가 통하는 도전성 막을 깎아내는 메탈에칭공정에서 사용되며,
세라믹 부품 외부에 전극을 걸어 진공 챔버 내부에서 플라즈마를 형성하도록 하는
부품입니다.