RING
- 식각공정
반도체 식각공정에 사용되는 실리콘은 대부분 링 형태이며, 플라즈마 에칭공정의 웨이퍼를 고정시키면서
챔버 내에서 플라즈마가 웨이퍼에 균일하게 가게 해주는 부품입니다.
ELECTRODE
- 식각공정
반도체 식각공정에 가스 플로우 시 플라즈마 생성 효율 상태를 만들어 주는
중요한 부품입니다.